滑閥式伺服閥
由永磁動圈式力馬達、一對固定節流孔、預開口雙邊滑閥式前置液壓放大器和三通滑閥式功率級組成。前置控制滑閥的兩個預開口節流控制邊與兩個固定節流孔組成一個液壓路。滑閥副的閥心（控制閥芯）直接與力馬達的動圈骨架相連，（控制閥芯）在閥套內滑動。前置級的閥套又是功率級滑閥放大器的閥心。
輸入控制電流使力馬達動圈產生的電磁力與對中彈簧的彈簧力相平衡，使動圈和前置級（控制級）閥心（控制閥芯）移動，其位移量與動圈電流成正比。前置級閥心（控閥芯）若向右移動，則滑閥右腔控制口·面積增大，右腔控制壓力降低；左側控制口面積減小，左腔控制壓力升高。該壓力差作用在功率級滑閥閥心（即前置級的閥套）的兩端上，使功率級滑閥閥心主滑閥）向右移動，也就是前置級滑閥的閥套（主滑閥）向右移動，逐漸減小右側控制孔的面積，直至停留在某一位置。在此位置上，前置級滑閥副的兩個可變節流制孔的面積相等，功率級滑閥閥心（主滑閥）兩端的壓力相等。這種直接反饋的作用，使率級滑閥閥心跟隨前置級滑閥閥心運動，

一、 執行器故障原因

1、檢查進出口空濾減壓器氣源壓力是否達到額定值，視情況增加氣源壓力或更換空濾減壓器；

2、檢查電磁閥是否堵塞，換氣動作是否正常，根據情況清除堵塞或更換電磁閥；

3、檢查進入執行機構的氣源壓力是否達到額定值，檢查調速器是否堵塞；

4、檢查閥門密封件摩擦是否過大，密封圈是否漏氣。

二、 執行器移動，但扭矩不夠。

檢查油缸兩端的調整螺栓，根據關閉情況進行調整，并鎖緊在正確位置。

三、 氣動球閥可以開關，但動作緩慢。

按下列條件檢查：

1、進入執行機構前檢查速度控制器是否需要調整，因為隨著閥門使用壽命的增加，工藝管道和閥門本身的變化需要調整速度控制器；

2、檢查氣缸內是否漏氣，氣缸內O形圈損壞會導致閥門動作緩慢；

3、檢查彈簧是否正確否，推力減小；

4、檢查氣缸出口鎖止閥是否靈敏，氣缸排氣是否正常。

四、 執行機構工作正常，但閥門不工作。

原因可能如下：

功率級滑閥閥心的位移與動圈輸入電流大小成比。