泵和電機(jī)可以從堅(jiān)固的定排量齒輪泵或葉片泵到具有精細(xì)間隙 [表 1] 和高成本的精密可變排量柱塞泵。在許多情況下，泵可能是規(guī)劃過(guò)濾的關(guān)鍵因素。
9）控制放大器還含有對(duì)反應(yīng)信號(hào)Uf和電壓差U的處置環(huán)節(jié)。比方狀態(tài)反應(yīng)控制和PID調(diào)理等。
帶位置反應(yīng)的滑閥式方向比例閥，其工作原理是:在初始狀態(tài)，控制放大器的指令信號(hào)UF=O，閥芯處于零位，此時(shí)氣源口Р與A、B兩端輸出口同時(shí)被切斷，A、B兩口與排氣口也切斷，無(wú)流量輸出，同時(shí)位移傳感器的反應(yīng)電壓Uf=0。若閥芯遭到某種干擾而偏離調(diào)定的零位時(shí)，美國(guó)穆格MOOG伺服閥位移傳感器將輸出一定的電壓Uf，控制放大器將得到的U=-Uf放大后輸出給電流比例電磁鐵.電磁鐵產(chǎn)生的推力迫使閥芯回到零位。若指令Ue>0，則電壓差U增大，使控制放大器的輸出電流增大，比例電磁鐵的輸出推力也增大，推進(jìn)閥芯右移。而閥芯的右移又惹起反應(yīng)電壓ur的增大，直至Uf與指令電壓Ue根本相等，閥芯到達(dá)力均衡。此時(shí)。
Ue=Uf=KfX(Kf為位移傳感器增益)
上式標(biāo)明閥芯位移×與輸入信號(hào)ue成正比。若指令電壓信號(hào)Ue<)，經(jīng)過(guò)上式相似的反應(yīng)調(diào)理過(guò)程，使閥芯左移一定間隔。
閥芯右移時(shí)，氣源口Р與A口連通，B口與排氣口連通;閥芯左移時(shí)，P與B連通，A與排氣口連通。節(jié)流口啟齒量隨閥芯位移的增大而增大。上述的工作原理闡明帶位移反應(yīng)的方向比例閥節(jié)流口啟齒量與氣流方向均受輸入電壓Ue的線性控制。
這類(lèi)閥的優(yōu)點(diǎn)是線性度好，滯回小，動(dòng)態(tài)性能高。
滑閥式二級(jí)方向伺閥
液壓伺服閥結(jié)構(gòu)及工作原理
一、滑閥式伺服閥：
采用動(dòng)圈式力馬達(dá)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，功率放大系數(shù)較大，滯環(huán)小和工作行程大；固定節(jié)流口尺寸大，不易被污物堵塞；主滑閥兩端控制油壓作用面積大，從而加大了驅(qū)動(dòng)力，使滑閥不易卡死，工作可靠。
噴嘴擋板式伺服閥：
該伺服閥，由于力反饋的存在，使得力矩馬達(dá)在其零點(diǎn)附近工作，即銜鐵偏轉(zhuǎn)角θ很小，故線性度好。此外，改變反饋彈簧桿11的剛度，就能在相同輸入電流時(shí)改變滑閥的位移。該伺服閥結(jié)構(gòu)緊湊，外形尺寸小，響應(yīng)快。但噴嘴擋板的工作間隙較小，對(duì)油液的清潔度要求較高。
射流管式伺服閥：
對(duì)油液的清潔度要求較低。缺點(diǎn)是零位泄漏量大；受油液粘度變化影響顯著，低溫特差；力矩馬達(dá)帶動(dòng)射流管，負(fù)載慣量大，響應(yīng)速度低于噴嘴擋板閥。
滑閥式伺服閥